產品詳情
/ PRODUCT DETAIL
半導體設備用彈簧
半導體設備用彈簧
產品特色
- 採用高精度不鏽鋼或鎳合金材料，具優異的抗蝕性與高溫穩定性，能應對無塵室及化學氣體環境。
- 彈力穩定、形變小，適用於高精密運動控制機構。
- 經表面拋光與潔淨處理，符合半導體製程設備的潔淨度要求。
- 可依客戶設備需求設計特定線徑、彈力與壓縮行程。
- 通過高循環壽命與高精密負載測試，確保長期運作穩定可靠。
應用產業
- 半導體製程設備（晶圓傳送模組、治具機構、真空腔體機構）
- 精密機械與自動化設備
- 光電、面板與電子零組件製造設備
- 微型機構彈性元件與振動吸收裝置